현재 중국 반도체 제조사인 CXMT와 YMTC는 현재 EUV 장비를 수입하지 못하는 상태입니다. 하지만 그럼에도 DUV 노광장비를 이용해 상당한 성과를 거두고 있으면 계속 생산량을 공격적으로 확장하고 있습니다.
최근 미 의회는 ASML의 DUV 장비까지 수출 금지 품목에 올리려는 움직임을 보이고 있습니다. 파이낸셜 타임스 보도에 따르면 CXMT와 YMTC는 앞으로 3년 치 장비를 미리 확보하고 대응에 나서고 있습니다. 그리고 중국의 DUV 장비 제조업체인 위량성(Yuliangsheng)은 ASML과의 경쟁에 대응하기 위해 연말까지 12대의 DUV 장비를 생산할 계획이라고 덧붙였습니다.
현재 중국 반도체 업계는 미국의 EUV 수출 통제에 대응해 수평으로 밀도를 높이기 어렵다면 수직으로 밀도를 높이는 방식으로 기술적 돌파구를 마련하고 있으며 실제로 어느 정도 성과를 얻고 있습니다. CXMT의 수직 채널 트랜지스터 (VCT)나 YMTC의 Xtacking 기술이 대표적입니다.
(Xtacking 기술에 대한 소개. 1:30부터)
하지만 추가적인 금수 조치에 대응하기 위해 중국은 반도체 장비 국산화에 사활을 걸고 있습니다. 얘를 들어 국영 상하이 아이성나 전자기술그룹(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)는 연말까지 DUV 노광장비 5대를 생산하고 2027년 말까지 20대로 늘릴 계획이라고 밝혔습니다. 흥미롭게도 이 회사는 위량성과 관련이 깊고 동일하게 상하이에 본사를 두고 있습니다.
다만 파이낸셜 타임스(FT) 보고서는 중국 기업들도 DUV 리소그래피 장비 생산에 나서고 있지만, ASML 제품만큼 제조업체들 사이에서 인기가 높지는 않다고 지적했습니다. 아직은 검증되지 않은 제품들로 처음에는 제한적으로 사용될 것으로 보이나 미국의 제재 위험이 커질수록 중국산 DUV 장비 수요가 높아질 것으로 예상됩니다.
중국 반도체 장비 제조사들은 ASML의 EUV 노광장비에 비해 10년은 뒤졌다는 평가를 받고 있지만, 정부의 강력한 지원과 ASML 장비에 대한 역설계 방식을 통해 기술을 빠르게 따라잡고 있습니다. 중국이 사활을 걸고 있는 분야라 영원히 뒤쳐질 것으로 보긴 어렵지 않을까 생각합니다.
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